BoulePro-200AX는 UV 광선으로 이종 다형체를 노출시키고 X-Ray을 사용하여 결정 방향을 결정하고 수정합니다
SiC 소자의 판매가 전기 자동차와 재생 에너지 시스템을 포함한 광범위한 응용 분야에서의 적용 확대로 빠르게 증가하고 있습니다. 이러한 소자의 채택은 더 높은 열전도율, 더 높은 효율성, 더 높은 온도와 전압에서의 작동 능력 등 우수한 특성에 의해 주도되고 있습니다.
끊임없이 증가하는 SiC 물질과 소자에 대한 수요는 이 산업 분야에서 일하는 사람들에게 혁신과 생산 공정 개선을 위한 동기를 부여하고 있습니다. USACH가 생산하는 BoulePro-200AX는 이러한 노력을 지원합니다. SiC 산업의 진화하는 요구를 충족하도록 설계된 이 업계 표준 잉곳 제조 장비는 효율성과 품질에 새로운 기준을 제시하며, 제조업체들이 급증하는 고품질 소재에 대한 수요를 충족할 수 있도록 지원합니다. BoulePro-200AX의 귀중한 강점은 역동적인 SiC 환경에서 앞서 나가고자 하는 모든 회사에 필수적인 도구로 만들어 줍니다.
이종 다형체 노출
최근 당사는 여러 SiC 생산업체와 협력하여 BoulePro에 이종 다형체를 감지하는 모듈을 통합했습니다. 이 추가 기능을 통해 운영자는 연삭 공정 중 원치 않는 이종 다형체의 식별과 제거를 간소화하고 자동화할 수 있습니다. UV 램프를 사용하여 다른 다형체를 강조하는 핵심 방법론은 업계에서 잘 확립되어 있지만, 이 기능을 연삭기에 통합하는 것은 처음입니다.
제조 단계에서 잉곳은 이종 다형체 감지 모듈로 보낼 수 있습니다. 검사 중에 잉곳은 시드 측의 기본 작업대에 고정되고 모듈은 주변광을 차단하기 위해 작업대를 커버합니다. 잉곳은 UV 광원과 비전 시스템이 포함된 모듈 내에서 작업대에 의해 회전되어 이종 다형체의 위치를 노출시키고 식별하며, 이후 추가 연삭으로 제거됩니다. 이 프로세스는 돔 측에 고정된 잉곳에도 적용되어 시드 측에 위치한 다형체를 식별하고 제거할 수 있습니다.
운영자 개입 필요성을 줄임으로써 SiC 잉곳 제조 공정을 향상시키는 이종 다형체 감지 모듈의 도입은 기술의 최첨단을 유지하기 위한 당사의 지속적인 노력의 일환입니다. 이는 미래의 요구를 예측하고 고객에게 빠르게 변화하는 시장에서 경쟁력을 유지할 수 있는 도구를 제공함으로써 달성됩니다.
UV 광선으로 잉곳을 비추면 이종 다형체가 노출됩니다.
속도 최적화
결정 성장 기술은 고도로 독점적이며 일부 생산업체의 경우 수십 년 동안 비밀리에 개발되어 왔기 때문에, 성장된 잉곳은 기하학적 형상, 결함 위치, 결정 방향 측면에서 다양한 형태를 취할 수 있습니다. 이로 인해 당사 시설에 입고되는 각 고객마다 고유한 공정 개발 단계가 필요한 데모 연삭을 위한 재료를 가져옵니다. 중심 또는 오프셋 연삭, 작거나 큰 결정 방향 수정, 원형 또는 비원형 연삭, 제조 단계별로 1차 척에서 2차 척으로의 잉곳 이동 등은 특정 고객 레시피를 개발할 때 고려해야 할 요소 중 일부에 불과합니다.
이러한 프로세스를 간소화하기 위해 사용하고 있는 새로운 기술 중 하나는 디지털 트윈 소프트웨어 패키지입니다. 기계 자체의 동일한 복제품인 디지털 트윈을 통해 복잡한 이벤트 시퀀스를 프로그래밍하고 고객 재료 작업 전에 미리 테스트할 수 있습니다. 디지털 트윈을 사용하는 데는 여러 가지 이점이 있지만, 특정 고객 재료의 사이클 타임 최적화는 주요 이점이며 궁극적으로 비용 절감을 위한 주요 레버 중 하나입니다. 디지털 트윈의 기계 동작이 현실과 1:1 시간 척도로 이루어지므로 팀은 고객 요구 사항을 염두에 두면서 디지털 공간에서 다양한 제조 순서를 탐색할 수 있습니다.
이를 통해 비용을 절감하고 특정 성장 잉곳 조건에 대한 최적화된 레시피를 도출하는 데 걸리는 시간을 단축할 수 있습니다. 잉곳은 높이에 따라 수만 달러에 달할 수 있을 정도로 매우 가치가 높기 때문에 공정 최적화를 지원하기 위해 디지털 공간으로 전환하는 이점을 쉽게 알 수 있습니다.
공정 방법론
완전히 자동화된 BoulePro 200AX은 접착, 외부 소재 설정, 수동 개입 없이 성장된 SiC 잉곳을 웨이퍼 준비 퍽으로 가공하여 이미 SiC 제조에 혁명을 일으키고 있습니다. 이 단일 설정 기계는 기존 잉곳 제작 공정에서 여러 도구를 대체하여 더욱 간소하고 효율적인 워크플로를 만듭니다.
BoulePro의 핵심은 X-선 회절 도구를 통합하여 단일 단계, 이중 평면 보정 기능을 제공하여 잉곳-투-퍽 변환 프로세스를 획기적으로 단축시킵니다. 기존 방식과 비교하여 BoulePro는 사이클 타임을 최대 95%까지 단축하여 생산성을 크게 향상시킵니다.
BoulePro의 또 다른 강점은 자동 공구 교환기와 다양한 잉곳 형상 및 고객 요구 사항을 수용하는 유연한 설계입니다. 이러한 강점은 200AX를 성장하는 SiC 시장에서 가장 효율적이고 유연하며 비용 효과적인 도구로 만듭니다.
BoulePro200AX을 사용하면 여러 가지 측면에서 비용을 절약할 수 있습니다. 연삭 공정 중 잉곳을 안전하게 고정하기 위해 당사 도구는 최첨단 그리핑 기술을 사용합니다. 두 작업대 모두 진공 기술을 사용하여 부품을 고정하는 반면, OD 그리핑 조는 페이스 연삭 중 부품 외부를 고정합니다. 이 이중 지지 시스템은 공격적인 연삭을 가능하게 하여 부품을 손상시키지 않고 제작 사이클 타임을 단축합니다. 반면에 기존 방식은 번거로워 부품을 스핀들에 붙이는 작업이 필요합니다.
여러 기계를 사용하지 않고, 취급 단계의 수를 줄이며, 자동화 및 첨단 기술 통합으로 전환함으로써 BoulePro는 가공 중 부품의 우발적 손상 위험과 인적 오류 가능성을 최소화합니다. 이는 까다로운 SiC 기판 응용 분야에 필수적인 더 높은 수율과 더 우수한 품질의 제품으로 이어집니다. 이 기계는 단일 설정에서 모든 필요한 연삭 작업을 수행할 수 있으므로 제조 공정의 전체 공간 사용량을 줄여 생산 시설에서 귀중한 공간을 절약합니다.
획기적인 도구의 주요 이점인 간소화된 자동화, 향상된 공정 반복성, 비용 및 제조 공간 사용량 감소, 더 높은 수준의 정확성 등은 다음 “BoulePro 200AX의 6가지 주요 강점”에 나열되어 있습니다.
BoulePro 200AX의 6가지 주요 강점
USACH의 BoulePro 200AX는 SiC 제조업체에게 필수적인 도구입니다. 그 강점은 다음과 같습니다:
- 간소화된 자동화: 성장된 기하학적 형상에 따라 잉곳에서 퍽으로의 변환 공정이 단 1~3시간 내에 완전 자동화된 프레임워크 내에서 진행됩니다.
- 향상된 공정 반복성: 첨단 자동화는 일관되고 고품질의 웨이퍼 준비 SiC 퍽을 보장합니다.
- 노동 비용 대폭 절감: 운영자 개입 필요성이 최소화되어 생산자는 노동 비용을 85% 절감합니다.
- 제조 공간 축소: 제조 공간을 80% 줄임으로써 공간 활용도를 최적화합니다.
- 종합적인 비용 절감: 업계 표준과 비교하여 총 비용이 약 80% 절감됩니다.
- 더 높은 정확도: 정밀한 공정 제어와 결정 방향 수정 시 잉곳을 일관되게 고정하는 방법이 있습니다. 이러한 단계를 통해 웨이퍼 방향이 현재 표준보다 최대 500배 더 정확합니다.
업계 표준
전 세계 주요 SiC 생산업체들의 BoulePro-200AX 광범위한 채택은 잉곳에서 퍽으로의 변환을 위한 최고의 솔루션으로서의 입지를 강화하고 있습니다. 북미와 유럽에서부터 아시아의 신흥 시장까지 이 도구는 효율성, 반복성, 비용 효율성의 새로운 기준을 제시하고 있습니다.
탁월한 효율성은 기존 공정에 혁명을 일으키고 있습니다. BoulePro는 자동화, 정밀 가공, 첨단 자재 취급을 통합하여 생산을 간소화하고 사이클 타임을 단축하며 운영 비용을 절감합니다. 고품질 SiC 퍽의 일관된 생산으로 제조업체는 엄격한 표준과 고객 요구를 자신 있게 충족할 수 있습니다.
획기적인 반복성 덕분에 BoulePro-200AX는 제품 무결성을 유지하는 데 필수적인 균일성과 일관성을 보장합니다. 핵심 파라미터에 대한 정밀한 제어를 통해 부품 손상을 최소화하고 SiC 제품의 명성과 신뢰성을 보호합니다.
BoulePro-200AX의 혁신적인 잠재력은 모회사인 Hardinge에서 잘 이해하고 있으며, SiC 생산업체가 성장 후 잉곳 제작에서 직면하는 과제와 전문 가공 전문성의 필요성을 인식하고 있습니다. 현재 Hardinge CEO인 Greg Knight는 이전에 Onsemi에 인수된 SiC 결정 성장 회사인 GTAT의 CEO였기 때문에 SiC 제작의 어려움을 잘 이해하고 있습니다.
SiC 제조업체는 BoulePro-200AX에 투자함으로써 즉각적인 요구 사항을 충족할 뿐만 아니라 장기적인 성공을 위한 발판을 마련합니다. 당사 도구의 첨단 기능과 강력한 성능, 그리고 이 플랫폼에 혁신적인 기능과 기술을 지속적으로 추가하려는 노력은 향후 수년간 SiC 및 기타 차세대 반도체 재료를 생산하기 위한 중요한 구성 요소로 남아 있을 것입니다.
간단히 말해서, 당사의 BoulePro-200AX는 단순한 기계가 아니라 SiC 산업 발전의 촉매제입니다. 혁신적인 설계, 종합적인 기능, 입증된 결과를 제공하는 이 도구는 빠르게 변화하는 시장에서 경쟁력을 유지하려는 모든 SiC 제조업체에게 필수적인 자산입니다. BoulePro-200AX를 통해 우리는 단순히 표준을 설정하는 것이 아니라 SiC 제조의 미래를 정의하고 있습니다.
About the author : Duke Lee
